Composants d'implantation d'ions de tungstène

Description des composants d'implantation d'ions tungstène

Le tungstène est un métal dur avec un aspect blanc brillant et argenté. Il est résistant à l'oxydation et à l'attaque par les acides et les alcalis. C'est un métal volumineux et a le point de fusion le plus élevé de tous les métaux. Le nom chimique du tungstène est wolfram, représenté par W. Son numéro atomique est 74 et il appartient à la catégorie des métaux de transition, période 6 du tableau périodique.

L'implantation ionique est un processus important qui est largement utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la finition des métaux et la recherche en science des matériaux. Il s'agit d'un processus à basse-température par lequel les ions d'un élément sont accélérés en une cible solide, modifiant ainsi les propriétés physiques, chimiques ou électriques de la cible.

L'implanteur ionique est l'équipement clé dans la fabrication de circuits intégrés. Lorsque des faisceaux d'ions sont projetés sur la surface d'un semi-conducteur et déposés, la concentration du porteur et le type de conduction sont modifiés. Grâce à son excellente modification de surface, l'implantation ionique est largement appliquée dans les matériaux semi-conducteurs, les métaux, les céramiques, les polymères à haut -molécule, etc.

L'implantation ionique est essentielle dans la fabrication de circuits intégrés massifs (CI). Les composants de l'implantation ionique sont souvent constitués de TZM, de molybdène et de tungstène, car ces matériaux pourraient bien fonctionner dans des environnements difficiles en raison de leur résistance à la corrosion, de leur résistance et de leur conductivité thermique élevée. La partie la plus importante d'un système d'implanteur est le trajet du faisceau dans lequel les composants sont engagés. Ici, les ions sont générés, concentrés, accélérés et dirigés vers la tranche.

Produits pour l'industrie des semi-conducteurs

Chambres (tungstène, molybdène et alliages)

Filaments (tungstène et alliages de tungstène)

Fentes d'arc (tungstène, molybdène et alliages)

Supports (tungstène, molybdène et alliages)

Cathodes (tungstène, molybdène et alliages)

Pièces de rechange (tungstène, molybdène et alliages, céramique, acier)

Spécification et composition chimique

Propriétés chimiques du tungstène

Propriétés physiques du tungstène

Propriétés mécaniques du tungstène

Propriétés thermiques du tungstène

Applications de composants d'implantation d'ions de tungstène et industries connexes

● Fabrication de semi-conducteurs

● Finition des métaux pour la trempe de l'acier à outils et la finition de surface

● Mélange de faisceaux ioniques pour obtenir une interface graduée et renforcer l'adhérence entre les matériaux non miscibles

● Recherche & Laboratoire

● Semi-conducteur

● Métal

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