Composants d'implantation ionique en alliage TZM

Description des composants d'implantation ionique en alliage TZM

L'implantation ionique est un processus important qui est largement utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, la finition des métaux et la recherche en science des matériaux. La partie la plus importante d'un système d'implanteur est le trajet du faisceau dans lequel les composants sont engagés. Ici, les ions sont générés, concentrés, accélérés et dirigés vers la tranche. Les composants d'implantation ionique sont souvent en alliage TZM, molybdène, tungstène, car ce matériau combine résistance à la corrosion, résistance et conductivité thermique élevée et peut bien fonctionner dans un environnement difficile.

Propriétés des composants d'implantation d'ions en alliage TZM

● Point de fusion élevé

● Excellente résistance au fluage

● Excellente résistance à la corrosion

● Bonne conductivité électrique et thermique

● Pureté exceptionnelle

Applications de composants d'implantation d'ions en alliage TZM et industries connexes

● Utilisé pour fabriquer des semi-conducteurs.

● Utilisé dans la finition des métaux pour la trempe de l'acier à outils et la finition de surface.

● Utilisé dans le mélange par faisceau d'ions pour obtenir une interface graduée et renforcer l'adhérence entre les matériaux non miscibles.

● Chambres (tungstène, molybdène et alliages)

● Filaments (tungstène et alliages de tungstène)

● Fentes d'arc (tungstène, molybdène et alliages)

● Supports (tungstène, molybdène et alliages)

● Cathodes (tungstène, molybdène et alliages)

● Pièces de rechange (tungstène, molybdène et alliages, céramique, acier)

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